유도결합 플라즈마(Inductively Coupled Plasma Optic Emission Spectrometer)의 약자로써 극 미량 정성 및 정량분석이 가능한 첨단의 분석기기이며 아르곤(Ar) 플라즈마로 이온화가 어려운 불활성 기체 원소를 제외한 대부분의 무기원소에 대해 극 미량 분석이 가능 하며 시료는 주로 액체 상태에서 분석이 가능 하다.
시료 용액을 고온에서 분해하여 원자를 증기화 하고, 이것에 램프를 이용해 뷔추면 발생 원자가 고유의 파장의 빛을 흡수하는 현상을 이용한 것이다. 흡광 비율은 시료원소의 농도에 비례하므로 미리 알고 있는 농도의 표준용액을 측정하여 표준곡선을 만들어 두고, 이것과 비교함으로써 모르는 시료를 정량화 할 수 있다.